400-007-1218

双轴全自动划片机

BT8000 精密砂轮划片机

高效率高精度高性能

BT8000 精密砂轮划片机主要用于半导体晶圆、集成电路、QFN、发光二极管、miniLED、太阳能电池、电子基片等的划切,适用于包括硅、石英、 氧化铝、氧化铁、砷化镓、铌酸锂、蓝宝石和玻璃等材料。其工作原理是通过空气静压主轴带动金刚石砂轮划切刀具高速旋转,将晶圆或器件沿切割道方向进行切割或开槽。 机型实现了晶圆从装片、对准、切割、清洗到卸片的自动化操作。该机型配置了大功率对向式双主轴,Z1和Z2轴上都配置了NCS和专用显微镜,大幅度减少对准和检查时间,从而降低人工成本、提高生产效率。

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产品介绍

机型实现了晶圆从装片、对准、切割、清洗到卸片的自动化操作。该机型配置了大功率对向式双主轴,Z1和Z2轴上都配置了NCS和专用显微镜,大幅度减少对准和检查时间,从而降低人工成本、提高生产效率。

应用:

12寸IC、PCB、陶瓷、玻璃、铌酸锂、氧化铝、石英等材料的精密切割;广泛用于IC集成电路 (8-12寸)、LED封装、QFN、DFN、BGA、光学光电、通讯等行业。




产品参数

项目

产品型号

BT8000 精密砂轮划片机


加工尺寸

≤ø305mm/□260mm*260mm/定制

运动方式

双轴对向式、全自动

X轴

最大速度

600mm/s

直线度

1.5μm全行程

Y轴

有效行程

310mm

定位精度

2μm全行程

分辨率

0.1μm

 Z轴

有效行程

40mm

单步步尽量

0.0001mm

最大刀轮直径

60mm或定制

T轴

转动角度范围

380

主轴

最大转速

60000rpm/min

额定输出功率

直流(DC)1.5/1.8/2.4KW

 基础规格

电源

三相AC220V/50Hz

压缩空气

0.5-0.6Mpa、Max420L/min

切削水

0.2-0.3Mpa、Max 12L/min

排风流量

10m³/min

尺寸(mm)

1288X1618X1810

重量

2000kg


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