机型实现了晶圆从装片、对准、切割、清洗到卸片的自动化操作。该机型配置了大功率对向式双主轴,Z1和Z2轴上都配置了NCS和专用显微镜,大幅度减少对准和检查时间,从而降低人工成本、提高生产效率。
应用:
12寸IC、PCB、陶瓷、玻璃、铌酸锂、氧化铝、石英等材料的精密切割;广泛用于IC集成电路 (8-12寸)、LED封装、QFN、DFN、BGA、光学光电、通讯等行业。
项目 | 产品型号 | BT8000 精密砂轮划片机 |
加工尺寸 | ≤ø305mm/□260mm*260mm/定制 | |
运动方式 | 双轴对向式、全自动 | |
X轴 | 最大速度 | 600mm/s |
直线度 | 1.5μm全行程 | |
Y轴 | 有效行程 | 310mm |
定位精度 | 2μm全行程 | |
分辨率 | 0.1μm | |
Z轴 | 有效行程 | 40mm |
单步步尽量 | 0.0001mm | |
最大刀轮直径 | 60mm或定制 | |
T轴 | 转动角度范围 | 380 |
主轴 | 最大转速 | 60000rpm/min |
额定输出功率 | 直流(DC)1.5/1.8/2.4KW | |
基础规格 | 电源 | 三相AC220V/50Hz |
压缩空气 | 0.5-0.6Mpa、Max420L/min | |
切削水 | 0.2-0.3Mpa、Max 12L/min | |
排风流量 | 10m³/min | |
尺寸(mm) | 1288X1618X1810 | |
重量 | 2000kg |
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