400-007-1218

8-12寸半自动划片机

BT3860 精密砂轮划片机

高效率高精度高性能

BT3860 精密砂轮划片机主要用于半导体晶圆、集成电路、QFN、发光二极管、LED芯片、太阳能电池、热敏电阻、压电陶瓷、电子基片等的划切,适用于包括硅、石英、 氧化铝、氧化铁、砷化镓、铌酸锂、蓝宝石和玻璃等材料。其工作原理是通过空气静压主轴带动金刚石砂轮划切刀具高速旋转,将晶圆或器件沿切割道方向进行切割或开槽。 

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产品详情产品参数样品案例

产品介绍

可用于集成电路QFN、压电陶瓷、发光二极管、分离器件、光通讯器件、LED芯片、热敏电阻、光学器件、陶瓷电路器件的划切分离加工。适用于硅、石英、玻璃、蓝宝石、氧化铝、氧化铁、砷化镓和铌酸锂等材料的划切加工。最大兼容8英寸晶圆,具有单主轴和双主轴的机型。其工作原理是通过空气静压主轴带动金刚石砂轮划切刀具高速旋转,将晶圆或器件沿切割道方向进行切割或开槽。 

产品介绍:

● 1.8KW(2.4KW可选) 大功率直流主轴

● 高刚性龙门式结构

● T轴旋转轴采用DD马达

● 进口超高精密级滚柱型导轨

● 进口超高精密滚珠型丝杆

● CCD双镜头自动影像系统

● 友好人机交互界面

● 瑞士进口滚柱导轨,精度高,耐用性久,稳定性高,超高直线度,实测0.9μm

● 采用进口研磨级超高精密滚珠丝杠,定位精度可达2μm全行程

● 自动对焦功能,具有CSP切割功能,具有 在线刀痕检测功能

● NCS非接触测高,BBD刀破损检测,自动修磨法兰功能

● 工件形状识别功能,更加友好人机界面

● 自动化程序著提升

● 满足各种加工工艺需求



产品参数

项目

产品型号

BT3860 精密砂轮划片机


加工尺寸

ø305mm/260mm×260mm或定制

X轴

最大速度

600mm/s

直线度

2μm全行程

Y轴

有效行程

310mm

定位精度

2μm全行程

分辨率

0.1μm

 Z轴

有效行程

40mm

单步步尽量

0.0005mm

最大刀轮直径

60mm或定制

T轴

转动角度范围

380

主轴

最大转速

60000rpm

额定输出功率

直流1.8/2.4KW

 基础规格

电源

220V/50Hz

压缩空气

0.5-0.6Mpa、Max220L/min

切削水

0.2-0.3Mpa、Max 4L/min

排风流量

3m³/min

尺寸(mm)

1080X1160X1810

重量

1200KG



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