可用于集成电路QFN、压电陶瓷、发光二极管、分离器件、光通讯器件、LED芯片、热敏电阻、光学器件、陶瓷电路器件的划切分离加工。适用于硅、石英、玻璃、蓝宝石、氧化铝、氧化铁、砷化镓和铌酸锂等材料的划切加工。最大兼容8英寸晶圆,具有单主轴和双主轴的机型。其工作原理是通过空气静压主轴带动金刚石砂轮划切刀具高速旋转,将晶圆或器件沿切割道方向进行切割或开槽。
产品介绍:
● 1.8KW(2.4KW可选) 大功率直流主轴
● 高刚性龙门式结构
● T轴旋转轴采用DD马达
● 进口超高精密级滚柱型导轨
● 进口超高精密滚珠型丝杆
● CCD双镜头自动影像系统
● 友好人机交互界面
● 瑞士进口滚柱导轨,精度高,耐用性久,稳定性高,超高直线度,实测0.9μm
● 采用进口研磨级超高精密滚珠丝杠,定位精度可达2μm全行程
● 自动对焦功能,具有CSP切割功能,具有 在线刀痕检测功能
● NCS非接触测高,BBD刀破损检测,自动修磨法兰功能
● 工件形状识别功能,更加友好人机界面
● 自动化程序著提升
● 满足各种加工工艺需求
项目 | 产品型号 | BT3860 精密砂轮划片机 |
加工尺寸 | ø305mm/260mm×260mm或定制 | |
X轴 | 最大速度 | 600mm/s |
直线度 | 2μm全行程 | |
Y轴 | 有效行程 | 310mm |
定位精度 | 2μm全行程 | |
分辨率 | 0.1μm | |
Z轴 | 有效行程 | 40mm |
单步步尽量 | 0.0005mm | |
最大刀轮直径 | 60mm或定制 | |
T轴 | 转动角度范围 | 380 |
主轴 | 最大转速 | 60000rpm |
额定输出功率 | 直流1.8/2.4KW | |
基础规格 | 电源 | 220V/50Hz |
压缩空气 | 0.5-0.6Mpa、Max220L/min | |
切削水 | 0.2-0.3Mpa、Max 4L/min | |
排风流量 | 3m³/min | |
尺寸(mm) | 1080X1160X1810 | |
重量 | 1200KG |
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