在激光材料加工中,激光器系统是产生激光束(热源)的关键部件之一。本章主要介绍激光材料加工中常用的固体激光器、CO2激光器等几种激光器系统。目前用于激光加工的固体激光器通常是掺钕钇铝石榴石激光器(简称NdYAG激光器),钕玻璃激光器和红宝石激光器等,气体激光器通常是CO2激光器和准分子激光器。
1960年问世的第一台激光器就是固体红宝石激光器。50多年来,固体激光器得到迅速的发展。目前,能产生激光的工作物质达数百种,单脉冲输出能量高达上万焦耳,平均输出功率已超过千瓦,最大峰值功率为几十太瓦,并不断向更高功率发展。
固体激光器以其独特的优越性在材料加工中获得广泛的应用,其优点主要如下。
1、输出光波波长较短。红宝石激光器输出波长为6943nm:掺钕钇铝石榴石及钕玻璃
激光器的输出波长为106um,比CO激光器低一个数量级。另外,固体激光器的输出波长多在可见光区段或近红外光区段,很容易用某些晶体倍频获得可见光甚至紫外光波段光波。
对于大多数材料,激光波长越短,吸收率越大,在加工工件时,固体激光器所需的平均功率
比用CO2激光器时要小。固体激光器输出较易使用普通光学元件传递。对于波长为
2、固体激光器输出较易使用普通光学元件传递。对于波长为106μm的近红外光,还可用光纤传输,具有方便灵活的特点。
3、结构紧凑、牢固耐用、使用维护比较方便,价格也比气体激光器低。
固体激光器的这些优越性使其在激光打孔、焊接、表面工程和半导体加工技术中得到广泛应用。
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